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而对此刘星却像是没注意到其他人似的,径直走到徐昀跟前把报告递过去的同时开口汇报。

“徐教授。”

“我们的氟化氙光源测试成功了。”

“这是详细数据。”

尽管徐昀早就清楚会是这个结果,听到这句话还是突然加快了手上动作,迅速查看起上面的详细数据。

首先氟化氙光源的波长为13.5纳米,满足极紫外光刻机的要求。

光源工作功率成功达到250瓦,且非常稳定。

也就是说他们制造的氟化氙光源完全能够使用在极紫外光刻机上,距离首台国产高端光刻机的正式交付使用又往前迈了一大步。

“你们也都看看吧。”

徐昀确定这个结果,又把手中的报告分别递给杨靖罗长辉等人。

后者几人脸上都浮现出激动神情。

“我们真的成功了,这是货真价实的极紫外光源。”

“这些天加班熬夜付出的辛苦都是值得的,海外那些傲慢的家伙肯定不会想到我们的研发会这么顺利。”

“全靠徐教授我们才能做到今天这步。”

正在大家都沉浸在这份喜悦中时,丝毫没有隐藏自己脸上激动神情的刘星,突然当着众人的面提出了一个自己的建议。

“徐教授。”

“我们要不要立刻宣布这个好消息,让海外那些人看看我们究竟能不能制造出极紫外高端光刻机。”

这句话也得到了杨靖的同意,同样附和道:“让大家知道我们在光源上的重大突破,肯定会非常高兴调动出民众对半导体领域的信任。”

但对此徐昀却选择了拒绝。

“这件事先不急。”

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